通过离子色谱法和双重检测同时测定蚀刻槽中的氟化物和酸性阴离子

蚀刻浴样品中 HF、HNO3、短链有机酸和 H2SiF6 的直接离子色谱测定。氟化物、硝酸盐、乙酸盐和硫酸盐等标准离子通过抑制电导率检测进行测定，而溶解的硅酸盐则在与钼硅酸的下游柱后反应 （PCR） 相同的运行中通过分光光度法检测。通过离子色谱法（IC）和滴定法获得的几种商业HF-HNO3-H 2SiF6混合物的分析结果显示出良好的一致性，这证实了所提出的“双重”检测IC方法在控制酸性制绒液成分方面的适用性。

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